真空（kōng）室尺寸　　　mm

Φ800×1100

Φ1250×1500

Φ1600×1750

Φ1600×2250

Φ2600×2100

  多弧靶數量　　　隻

8

14

18

26

26

  極限壓力 　   　Pa

1.5×10^-3

  工作壓（yā）力 　   　Pa

1.2×10^-2

  恢複真空（kōng）時間　　min

15（大氣～10^-3Pa）

  工作轉（zhuǎn）動　　　  rpm

公轉、自轉/二次自轉

  工作氣體

Ar 純度99.99%